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“16mm 系列"— Linear16-z (閉環(huán)控制) 低溫 · 壓電運(yùn)動(dòng)- 線性位移系列
Linear16-z 線性位移臺(tái)主要特點(diǎn)
• 緊湊設(shè)計(jì), 尺? : 16*15.7 mm
• 超?真空 & 超低溫兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK
• ?磁材料(純 Ti & BeCu)，最?兼容 18 Tesla 磁場
• 超?負(fù)載 & 超?推? : 250 g & 3 N
• ??程 : 3 mm
• 閉環(huán)控制，內(nèi)置位置傳感器， 最?位置分辨率 0.1 um
?維尺?
Linear16-z, Speciication
可選版本? | .HV (默認(rèn)) | .ULT | .UHV | .ULT.UHV | |
.HV ?真空版本，默認(rèn)產(chǎn)品; .ULT 超低溫版本, 兼容氦-3制冷系統(tǒng) & 稀釋制冷機(jī) .UHV 超?真空版本, 最?兼容 2E-11 mbar | |||||
1 三維尺? | 16 × 16 mm × 16 mm | ||||
2 質(zhì)量 | 12 g | ||||
適?環(huán)境范圍 | |||||
3 基礎(chǔ) | 溫度范圍: 1.4 ~ 400 K 最di真空度: 2e-7 mbar 最?磁場: 18 Tesla | ||||
4 可選1 - 30 mK | ? | ? | |||
5 可選2 - 2e-11 mbar | ? | ? | |||
材質(zhì) | |||||
6 主體 | Pure Ti | BeCu | Pure Ti | BeCu | |
7 線纜 | 磷?銅雙絞線，20cm | ||||
8 針腳材質(zhì) | 聚酯材料（玻璃纖維填充）, BeCu | Peek, BeCu | |||
9 針腳數(shù)量 | 驅(qū)動(dòng) - 2 pins, 傳感 - 3 pins | ||||
運(yùn)動(dòng)參數(shù) | |||||
10 ?程 | 3 mm | ||||
11 最?運(yùn)動(dòng)速度 @300 K | ~ 2 mm/s | ||||
12 驅(qū)動(dòng)電壓 | Max. 200 V | ||||
13 最?負(fù)載 | 250 g | ||||
14 最?推? | 3 N | ||||
傳感器（閉環(huán)） | |||||
15 位置傳感器 | 、 | ||||
16 傳感器?程 | 3 mm | ||||
17 傳感器分辨率 | ~ 150 nm | ||||
18 重復(fù)定位精度 | 1 - 2 um | ||||
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